การสร้างแผ่นทำความร้อนขนาดเล็กจากฟิล์มหนา Ni-Cr ที่เตรียมด้วยวิธีการสปัตเตอร์

ชื่อผู้จัดทำโครงงานวิทยาศาสตร์
  • ภูมิ ประยูรโภคราช

อาจารย์ที่ปรึกษาโครงงานวิทยาศาสตร์
  • สุภาพ ชูพันธ์

สถาบันการศึกษาที่กำกับดูแลโครงงานวิทยาศาสตร์

ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยเชียงใหม่

ระดับการศึกษา

โครงงานในระดับการศึกษาปริญญาโทขึ้นไป

หมวดวิชา

โครงงานในสาขาวิชาฟิสิกส์

วันที่จัดทำโครงงานวิทยาศาสตร์

01 มกราคม 2541

บทคัดย่อโครงงานวิทยาศาสตร์

ในงานนี้แผ่นทำความร้อนขนาดเล็กถูกสร้างจากฟิล์มหนาของ Ni Cr ที่เตรียมด้วยวิธีการสปัตเตอร์ลงบนฐานรองอะลูมินาขนาด 6 มม. x 6 มม. โดยมีเงื่อนไขการสปัตเตอร์ฟิล์มหนาของ Ni Cr คือ ใช้เวลาสปัตเตอร์ 60 และ 90 นาที ที่ความดันก๊าซอาร์กอน 2 และ 5 มิลลิทอร์ ตามลำดับ แบบของแผ่นทำความร้อนขนาดเล็กสร้างโดยการกัดฟิล์ม Ni Cr ด้วยเลเซอร์ Nd:YAG โดยมีขนาดความกว้างของลวดลาย / ขนาดของช่องว่าง 350 /350ไมโครเมตร, 500 / 500 ไมโครเมตร และ 1000 / 1000 ไมโครเมตร หลังจากกระบวนการกัดฟิล์มแผ่นทำความร้อนขนาดเล็กถูกทดสอบโดยจ่ายกระแสไฟฟ้าที่ความต่างศักย์ไฟฟ้าต่างๆ แล้วทำการสังเกตอุณหภูมิ พบว่าแผ่นทำความร้อนขนาดเล็กที่ถูกสร้างขึ้นสามารถสร้างอุณหภูมิได้สูงกว่า 400 oC