ผลกระทบของกำแพงศักย์แบบแอนไอโซโทรปิกที่มีต่อแบบจำลองการปลูกฟิล์มบางด้วยวิธีโมเลกุลาร์บีมเอพิแทกซีโดยใช้แบบจำลอง Das Sarma-Tamborenea

ชื่อผู้จัดทำโครงงานวิทยาศาสตร์
  • ยุทธนา รุ่งธรรมสกุล

อาจารย์ที่ปรึกษาโครงงานวิทยาศาสตร์
  • ปัจฉา ฉัตราภรณ์

สถาบันการศึกษาที่กำกับดูแลโครงงานวิทยาศาสตร์

ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย

ระดับการศึกษา

โครงงานในระดับการศึกษาปริญญาโทขึ้นไป

หมวดวิชา

โครงงานในสาขาวิชาฟิสิกส์

วันที่จัดทำโครงงานวิทยาศาสตร์

01 มกราคม 2541

บทคัดย่อโครงงานวิทยาศาสตร์

จากการศึกษาผลกระทบของกำแพงศักย์แบบ Ehrlich Schwoebel ที่มีต่อการปลูกฟิล์มบางพบว่า กำแพงศักย์แบบไอโซโทรปิกนำไปสู่การเกิดภูเขาแบบแอนไอโซโทรปิกบนพื้นผิวฟิล์มบาง อย่างไรก็ตามผลกระทบเนื่องจากกำแพงศักย์แบบแอนไอโซโทรปิกยังไม่มีข้อสรุปที่ชัดเจน โครงงานนี้จึงรวบรวมผลของการศึกษาผลกระทบ ของกำแพงศักย์ดังกล่าวโดยใช้แบบจำลองการปลูกฟิล์มบางแบบ Das Sarma Tamborenea ในการศึกษาผลของกำแพงศักย์ต่อแบบจำลองได้มีการใช้ค่าความน่าจะเป็นเพื่อกำหนดเงื่อนไขในการเคลื่อนที่ของอะตอมบนพื้นผิวของฟิล์มบาง ความแรงของกำแพงศักย์สามารถกำหนดได้ด้วยอัตราส่วนระหว่างความน่าจะเป็นที่อะตอมจะเคลื่อนที่บนระนาบของพื้นผิวเดียวกัน (PU) และความน่าจะเป็นที่อะตอมจะเคลื่อนลงสู่ระนาบที่ต่ำกว่า (PD) จากนั้นทำ การศึกษาพื้นผิวที่ได้จากแบบจำลองโดยใช้ฟังก์ชันความสัมพันธ์ของความสูง (height height correlation function) ซึ่งสามารถบ่งชี้ถึงลักษณะของภูเขาที่เกิดขึ้นบนพื้นผิวฟิล์มบางได้ ผลของแบบจำลองแสดงว่ากำแพงศักย์แบบแอนไอโซโทรปิกนำไปสู่พื้นผิวที่มีภูเขาแบบแอนไอโซโทรปิก ซึ่งรัศมีเฉลี่ยของภูเขามีค่าขึ้นอยู่กับความแรงของกำแพงศักย์ และจากการเปรียบเทียบระหว่างพื้นผิวที่มีกำแพงศักย์แบบไอโซโทรปิกและแอนไอโซโทรปิกที่ความแรงเท่ากัน พบว่าพื้นผิวทั้งสองมีภูเขาที่มียอดตัด โดยพื้นผิวที่มีภูเขาแบบไอโซโทรปิกจะมีรัศมีเฉลี่ยมากกว่า