การศึกษาฟิล์มบางของอลูมิเนียมที่สร้างด้วยวิธีการระเหยสาร

ชื่อผู้จัดทำโครงงานวิทยาศาสตร์
  • ภาสิต หงษ์ทอง

อาจารย์ที่ปรึกษาโครงงานวิทยาศาสตร์
  • ประเสริฐ ไกรสิงห์เดชา

สถาบันการศึกษาที่กำกับดูแลโครงงานวิทยาศาสตร์

ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยศิลปากร

ระดับการศึกษา

โครงงานในระดับการศึกษาปริญญาโทขึ้นไป

หมวดวิชา

โครงงานในสาขาวิชาฟิสิกส์

วันที่จัดทำโครงงานวิทยาศาสตร์

01 มกราคม 2541

บทคัดย่อโครงงานวิทยาศาสตร์

ในปัจจุบันเทคนิคการเคลือบฟิล์มบางเป็นเทคนิคที่สำคัญในทางวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี ในงานวิจัยนี้เป็นการทดลองเคลือบฟิล์มบางอลูมิเนียมด้วยวิธีการระเหยสารในระบบสุญญากาศ ด้วยเครื่องเคลือบฟิล์มบาง รุ่น Veeco VE 300 นอกจากนี้ยังศึกษาสมบัติบางประการของฟิล์มด้วย Nowsdays, thin film technology is important in science and technology. In this research, the Aluminium thin films have been fabricated on glass substrates by using Veeco VE 300 evaporator. Moreover,some properties of these films have been studied.