เครื่องเคลือบฟิล์มบางชนิดแมกนีตรอนสปัตเตออ์ริ่งแบบหัวคู่
- ชื่อผู้จัดทำโครงงานวิทยาศาสตร์
ภูสิทธิ์ จันทนา
- อาจารย์ที่ปรึกษาโครงงานวิทยาศาสตร์
พิษณุ พูลเจริญศิลป์
- สถาบันการศึกษาที่กำกับดูแลโครงงานวิทยาศาสตร์
- ระดับการศึกษา
- หมวดวิชา
- วันที่จัดทำโครงงานวิทยาศาสตร์
01 มกราคม 2541
บทคัดย่อโครงงานวิทยาศาสตร์
โครงงานนี้ได้มีการสร้างและทดสอบเครื่องเคลือบฟิล์มบางชนิดแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่งแบบหัวคู่ เพื่อใช้ศึกษาสมบัติทางไฟฟ้าของหัวเคลือบและสเปกตรัมของพลาสมาโดยใช้เป้าอะลูมิเนียมและเป้าทองแดง พบว่าแมกนีตรอนสปัตเตออ์ริ่งแบบหัวคู่สามารถเคลือบฟิล์มหลายชั้นของอะลูมิเนียมและทองแดงได้ ความสัมพันธ์ระหว่างแรงดันที่ตกคร่อมและกระแสไฟฟ้าที่ไหลผ่านหัวเคลือบทำให้สามารถแบ่งแยกช่วงของการเกิดพลาสมาออกเป็น 3 ช่วง คือ ช่วงมืด ช่วงพลาสมาและช่วงการสปัตเตอร์ริ่ง และในการวัดสเปกตรัมสามารถตรวจพบสเปกตรัมของก๊าซอาร์กอน อะตอมของอะลูมิเนียมและอะตอมของทองแดง นอกจากนี้ฟิล์มสองชั้นที่เกิดจากการซ้อนทับระหว่างอะลูมิเนียมและทองแดงสามารถตรวจวัดแรงดันตกคร่อมฟิล์มเมื่อให้อุณหภูมิของฟิล์มเพิ่มขึ้น